FS-Pro半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)是一款功能全面、配置靈活的半導(dǎo)體器件電學(xué)特性分析設(shè)備。在一個系統(tǒng)中實現(xiàn)了電流電壓(IV)測試、電容電壓(CV)測試、脈沖式IV測試、任意線性波形發(fā)生與測量、高速波形發(fā)生與釆集以及低頻噪聲測試能力，幾乎所有半導(dǎo)體器件的低頻特性表征都可以在FS-Pro測試系統(tǒng)中完成。

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更新時間：2026-03-27
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FS-Pro半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)介紹：

FS-Pro 半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)是一款功能全面、配置靈活的半導(dǎo)體器件電學(xué)特性分析設(shè)備，在一個系統(tǒng)中實現(xiàn)了電流電壓 (IV)測試、電容電壓 (CV) 測試、脈沖式 IV 測試、任意線性波形發(fā)生與測量、高速時域信號釆集以及低頻噪聲測試能力。幾乎所有半導(dǎo)體器件的低頻特性表征都可以在 FS-Pro 測試系統(tǒng)中完成。其全面而*的參數(shù)測試分析能力極大地加速了半導(dǎo)體器件與工藝的研發(fā)和評估進(jìn)程，并可與概倫 9812 系列噪聲測試系統(tǒng)無縫集成，其快速 DC 測試能力進(jìn)一步提升了 9812 系列產(chǎn)品的噪聲測試效率。

FS-Pro半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)是一款功能全面、配置靈活的半導(dǎo)體器件電學(xué)特性分析設(shè)備。

在一個系統(tǒng)中實現(xiàn)了電流電壓(IV)測試、電容電壓(CV)測試、脈沖式IV測試、任意線性波形發(fā)生與測量、高速波形發(fā)生與釆集以及低頻噪聲測試能力，幾乎所有半導(dǎo)體器件的低頻特性表征都可以在FS-Pro測試系統(tǒng)中完成。
全面而*的參數(shù)測試分析能力極大地加速了半導(dǎo)體器件與工藝的研發(fā)和評估進(jìn)程，并可與概倫9812系列噪聲測試系統(tǒng)無縫集成。
釆用工業(yè)通用的PXI模塊化硬件架構(gòu)，系統(tǒng)配置靈活，擴(kuò)展性強(qiáng)。
內(nèi)置專業(yè)測試軟件LabExpress提供豐富的測試預(yù)設(shè)和*的數(shù)據(jù)處理功能。
LabExpress軟件同時支持自動化量測和并行量測，可進(jìn)一步提升測試效率。
廣泛應(yīng)用于各種半導(dǎo)體器件、LED材料、二維材料器件、金屬材料、新型材料與器件測試、器件可靠性等研究領(lǐng)域。

主要規(guī)格參數(shù)：

寬量程：200V 電壓，1A 直流電流
高精度：30fA 精度，0.1fA 靈敏度
噪聲測試帶寬：高精度zui高 100kHz，超低頻zui高 40Hz
噪聲測試速度：<10s/bias（大于 0.5Hz 頻率分辨率）
內(nèi)置脈沖測試：200V 電壓，3A 脈沖電流，最小 50μs 脈寬
內(nèi)置 CV 測試：200V/10kHz，zui低可測至 20fF
外置 CV 測試模塊：40V/2MHz（高精度型）；40V/10MHz（高帶寬型）
高速時域信號采集：最小采樣時間 < 1μs，10 萬點(diǎn)數(shù)據(jù)
噪聲測試最小阻抗：500Ω
噪聲測試分辨能力：zui低 2e-28A2/Hz
噪聲測試頻率分辨率：高精度 0.1Hz，超低頻 0.001Hz
高精度快速波形發(fā)生與測量套件

2 通道，SMA 接口
快速 IV 測試：±10V 電壓，zui大 10mA 電流
SMU 直通：±25V 電壓輸入，zui大 100mA 電流
100MSa/s 采樣率，最小推薦脈沖寬度可達(dá) 130ns

產(chǎn)品應(yīng)用

新型材料與器件測試

半導(dǎo)體器件可靠性測試

半導(dǎo)體器件超短脈沖測試

半導(dǎo)體器件無損探傷與測試

光電器件和微電子機(jī)械系統(tǒng)測試

半導(dǎo)體器件超低頻噪聲領(lǐng)域測試

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